近日,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司与中芯国际集成电路制造(上海)有限公司联合申请了一项名为“一种晶圆键合结构及其形成方法”的新专利(公开号CN118919426A),引发了业界的广泛关注。该专利的申请日期为2023年5月,旨在通过创新的晶圆键合技术来显著提升电子器件的电学性能及其长期可靠性。
根据专利摘要,该技术方案主要涉及两片晶圆之间的特殊键合结构。具体而言,第一晶圆中设有多个隔离结构,同时在其表面形成第一介质层,且该介质层中包含金属层;第二晶圆则在其表面形成第二介质层,通过这两层介质实现晶圆的键合。此外,专利还提出了“穿硅通孔”的设计,使得第一晶圆和第一介质层中暴露的金属层能够通过关键的通孔结构进一步提升连接强度和电导性能。这一设计的独特之处在于,部分隔离结构和第一介质层的设置可以对金属层施加一定的压应力,从而提升器件在电气应用中的稳定性与可靠性。
此项技术的优势在于能够为未来电子器件的发展提供较为有效的解决方案,尤其在集成电路、传感器和其他高级电子组件中,其潜在的应用场景极为广泛。随着电子器件向高性能、小型化和低功耗发展的趋势,如何在保证电学性能的同时提高产品的可靠性和整体使用寿命,已成为研发者亟待解决的问题。中芯国际的这一创新方案正是针对这一需求而产生的,为未来相关领域的技术进步提供了新的思路。
在全球电子产业快速发展的背景下,这一新专利的披露,不仅体现了中芯国际在半导体领域的持续创新能力,也彰显了其在提高电子器件性能方面的努力。此项专利的成功实施,预计将在未来的产品中得到广泛应用,进而推动整个行业的技术革新与进步。中芯国际把握市场机遇,通过不断的技术研发与创新,展现其在国际半导体产业中的影响力和竞争力。
总的来看,中芯国际的这一专利申请不仅是公司层面的技术突破,更是对整个半导体行业特定技术挑战的回应。随着新材料、新工艺的不断引入,芯片制造行业面临着史无前例的机遇与挑战,而中芯国际的努力无疑为它在这个竞争激烈的市场中占得先机。这一变化将进一步促使行业内的各大厂商重视技术创新,在寻求更高效生产流程和优秀产品性能的同时,也增强了全球电子产业的成长动力。未来,随着支持政策的持续优化与产业环境的改善,中国半导体行业有望在更广泛的市场中取得突破,推动全球科技进步。返回搜狐,查看更多